表面形貌、动态运动分析及可视化是MEMS器件等微型结构的测试和研发的关键，这对于验证有限元算法、确定串扰效应和测量表面形变是必不可少的。

  MSA-600是集面外振动、面内振动、及表面形貌测量功能于一体的光学测量工作站。系统具有极高的灵活性和精度，以满足显微结构未来的发展需要。显微式激光测振仪可提供精确的三维动态和静态响应数据，在降低开发和制造成本的同时提高产品性能，从而缩短设计周期，简化故障处理，提高产品产量。