MPI 为其畅销的 200 和 300 毫米探针系统设计了专用的 SiPH 升级，其中包括：

• 多种选择的高精度光纤对准系统，可用于超快速扫描程序。

• 可用于O-O、O-E、E-O和E-E设备配置的多种测量能力。

• 集成 Z感测模块可用于检测光纤到晶圆的接触点。

• 使用两个光纤臂时能具有防撞保护功能。

• 从-50℃到200℃的宽温度范围。

• 可选暗箱，用于在密闭环境中进行测试。

• 广泛的软件包，支持操作者进行软件集成的测试。

• 兼容的探针台：TS2000-IFE、TS2000-SE、TS3000、TS3000-SE、TS3500 和 TS3500-SE。